了解关于 Glass Expansion 射频线圈

维护射频线圈的好处

射频线圈的主要问题是腐蚀,无论是因热量或氧化所引起的。腐蚀会减少对等离子的能量传送效率,并增加对射频发生系统中其他部件的应力。特别是射频管或射频放大器 FET 必须产生更多功率来传送相同能量给等离子。

线圈是此射频能量的发射器。不同材质传导射频能量的效率对整体等离子效率有重要影响。金属氧化物传导射频没有纯金属来得好。尤其硫酸铜,它是非常差的导体,而氧化银则对效率的影响很小。射频效率很高的金属有纯银 IACS (国际锻铜标准) 105、锻铜 IAC 100,和金 IAC 74。

如果高温是最大的问题,则处理此问题的最佳方法是使用镀有高度反射材质 (例如银) 的线圈。但镀银也会在使用一段时间之后产生失泽样子。在这种情况下要使线圈有最佳使用寿命,应当使用去焦器经常清洗。这将最终除掉银镀层。但如果不除焦,会因较高的吸收率而积聚过多热量,导致镀层从铜导管剥落。这将裸露铜区域,使恶化速率加快。铜将更快地氧化,从而可能导致线圈间出现电弧,并降低至等离子的能量传送。

化学腐蚀问题最好使用镀金线圈解决。电镀过程是线圈性能好坏的关键。镀金可能产生多孔镀层,使铜导管受到化学腐蚀,从而导致镀层无用。Glass Expansion 镀金线圈生产中所使用的电镀过程能除去多孔效果,但仍保持镀层的高纯度。用久之后,金镀层表面将显示硫酸铜形成迹象。这是由于铜通过镀层徙动而导致的。为获得最佳性能,应当使用无酸金属研磨剂除去沉积物。不幸的是,一旦发生这种现象,徙动将以更快速率发生,此时必须更换线圈。

定期清洗线圈可延长使用寿命,产生更加均匀的等离子。这又可导致较好的分析结果。也能减少对射频发生器的负荷。